Morphological characterization and porosity profiles of tantalum glancing-angle-deposited thin films

Einordnung

Erschienen in:

Journal of Sensors and Sensor Systems
Bd. 9, H. 1 (02.2020), S. 79-87

Band:

9

Heft:

1

Erscheinungsdatum:

02.2020

DOI:

10.5194/jsss-9-79-2020

Sonstiger Identifikator (importID):

oai:publications.copernicus.org:jsss77822

Sprache:

Englisch

Ressourcentyp:

Text

Verlag:

Copernicus Publications

Art der Ablieferung:

Verlagsveröffentlichung

Link zum Volltext:

https://jsss.copernicus.org/articles/9/79/2020/jsss-9-79-2020.pdf